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三氯硅烷 SiHCl3
瀏覽次數:2447 發布時間:2015-02-04
三氯硅烷SiHCl3
  
1.
別名?英文名
    
硅氯仿、硅仿、三氯氫硅;Trichlorosilane、Silicochloroform
    2.
用途
    
單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。
    3.
制法
    (1)
在高溫下SiHCl反應。
    
    (2)
用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)。
     
    4.
理化性質
    
分子量:    135.43
    
熔點(101.325kPa)    -134

    
沸點(101.325kPa)    31.8
    
液體密度(0)    1350kg/m3
    
相對密度(氣體,空氣=1)    4.7
    
蒸氣壓(-16.4
)    13.3kPa
           (14.5
)    53.3kPa
    
燃點:    -27.8

    
自燃點:    104.4
    
閃點:    -14
    
爆炸下限:        9.8%
    
毒性級別:    3
    
易燃性級別:    4
    
易爆性級別:    2
    
三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18
以下也有著火的危險,遇明火則強烈燃燒,燃燒時發出紅色火焰和白色煙,生成SiO2、HClCl2。
    SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2
    
三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣,受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩定性比二氯硅烷好,在900
時分解產生氯化物有毒煙霧(HCl),還生成Cl2Si。遇潮氣時發煙,與水激烈反應。
    2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl
    
在堿液中分解放出氫氣。        SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2
    
與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯硅烷。
    SiHCl3+CH≡CH
→CH2CHSiCl3                     SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3
    
在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下,SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火??扇芙庥诒?、醚等。無水狀態下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕,但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。
 
    5.
毒性
    
小鼠-吸入LC501.52mg/L
    
最高容許濃度:1mg/m3
    
三氯硅烷的蒸氣和液體都能對眼睛和皮膚引起灼傷,吸入后刺激呼吸道粘膜引起各種癥狀(參見四氯化硅)。
    6.
安全防護
    
液體用玻璃瓶或金屬桶盛裝,容器要存放在室外陰涼干燥通風良好之處或在易燃液體專用庫內,要與氧化劑、堿類、酸類隔開,遠離火種、熱源,避光,庫溫不宜超過25
??捎冒彼铰?。
    
火災時可用二氧化碳、干石粉、干砂,禁止用水及泡沫。廢氣可用水或堿液吸收。
    
三氯硅烷有水分時腐蝕性極強??捎描F、鎳、銅鎳合金、鎳鋼、低合金鋼,不能用鋁、鋁合金??梢杂镁鬯姆蚁?、聚三氟氯乙烯聚合體、氟橡膠、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。
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